KR20070016509A - Optical multiplexer - Google Patents
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Abstract
본 발명은 광학 멀티플렉서에 관한 것이다. 본 발명에 따른 광학 멀티플렉서는 외부로부터의 광을 수신하는 복수의 광수신부와; 외부장치로 광을 출력하는 광출력부와; 상기 복수의 광수신부 중 어느 하나로부터 수신된 광의 방향을 변경시켜 상기 광출력부로 유도하는 광유도부를 포함한다. 이에 의해 복수의 광 중 어느 하나를 선택하여 출력할 수 있는 광학 멀티플렉서가 제공된다. The present invention relates to an optical multiplexer. The optical multiplexer according to the present invention comprises: a plurality of light receiving parts for receiving light from the outside; An optical output unit configured to output light to an external device; It includes a light induction unit for changing the direction of the light received from any one of the plurality of light receiving unit to guide the light output unit. This provides an optical multiplexer capable of selecting and outputting any one of a plurality of lights.
Description
도 1은 종래의 광학 시스템을 설명하기 위한 제어블럭도이고,1 is a control block diagram for explaining a conventional optical system,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 멀티플렉서의 분해사시도이고,2 is an exploded perspective view of an optical multiplexer according to an embodiment of the present invention,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 멀티플렉서의 제어블럭도이고,3 is a control block diagram of an optical multiplexer according to an embodiment of the present invention,
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 멀티플렉서의 단면도이다.4 is a cross-sectional view of an optical multiplexer according to an embodiment of the present invention.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
10, 20, 30 : 광원 40, 50, 60 : 분광기10, 20, 30:
70 : 광데이터 처리부 90 : 외부기기70: optical data processing unit 90: external device
110 : 광수신부 120 : 광출력부110: light receiving unit 120: light output unit
130 : 반사미러 140 : 모터130: reflection mirror 140: motor
150 : 제어부 160 : 광유도부150: control unit 160: light induction unit
170 : 집광렌즈 180 : 하우징170: condenser lens 180: housing
본 발명은 광학 멀티플렉서에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 입력받은 복수의 광을 선택적으로 출력할 수 있는 광학 멀티플렉서에 관한 것이다.The present invention relates to an optical multiplexer, and more particularly, to an optical multiplexer capable of selectively outputting a plurality of input light.
분광기는 광원으로부터 입력된 광을 분광하여 분광된 광의 파장별 세기를 검출하는 광학 장치이다. 사용자는 분광기로부터 얻은 데이터를 바탕으로 광원의 성분 또는 성질에 대한 정보를 얻을 수 있다. 이러한 분광기는 반도체 공정에 사용되는 개별적인 챔버 등과 연결되어 챔버 내부에서 생성되는 모든 빛에 대한 정보를 제공하는 역할을 하기도 한다.The spectroscope is an optical device that detects the intensity of each wavelength of the spectroscopic light by spectroscopy the light input from the light source. The user can obtain information on the components or properties of the light source based on the data obtained from the spectrometer. The spectrometer is also connected to individual chambers used in the semiconductor process and serves to provide information on all light generated inside the chamber.
도 1은 종래의 분광기가 사용된 광학 시스템에 대하여 설명하기 위한 제어블럭도이다. 도시된 바와 같이 광학 시스템은 복수의 광원(10, 20, 30), 각 광원(10, 20, 30)에 연결되어 있는 복수의 분광기(40, 50, 60), 분광기(40, 50, 60)와 연결되어 있는 광데이터 처리부(70) 및 외부기기(80)를 포함한다.1 is a control block diagram for explaining an optical system using a conventional spectrometer. As shown, the optical system includes a plurality of
각 광원(10, 20, 30)은 분석할 대상이 되는 광을 분광기(40, 50, 60)에 제공하며, 서로 다른 광원과는 상이한 특징 및 정보를 담고 있는 광을 방출한다. Each
분광기(40, 50, 60)는 광원(10, 20, 30)으로부터 제공받은 광을 분광하여 파장별 세기에 대한 광 정보를 광데이터 처리부(70)로 출력한다. 광데이터 처리부(70)는 광정보를 외부기기(80)에서 활용할 수 있는 데이터로 처리한다.The
일반적으로 분광기(40, 50, 60)가 광원(10, 20, 30)으로부터 광을 수신하여 처리하는데 소요되는 시간은 최대 10 msec 정도이지만, 광데이터 처리부(70)는 외부기기(80)에 약 1~3 초의 간격으로 데이터를 전송한다. 이것은 사용자가 필요한 광데이터를 얻는 전체 시간에 대하여 분광기(40, 50, 60)가 실질적으로 작동하는 시간은 매우 짧다는 것을 의미하므로 분광기(40, 50, 60)의 사용 효율이 매우 낮은 것을 알 수 있다.In general, the time required for the
하지만, 이러한 분광기(40, 50, 60)가 각 광원(10, 20, 30) 마다 연결되어 있기 때문에 전체적인 시스템 제조 원가가 상승하는 요인이 되고, 광원의 개수가 증가할 때마다 부가적인 분광기가 구비되어야 하므로 시스템 구성이 복잡해지는 문제점이 있다. However, since the
따라서, 본 발명의 목적은 복수의 광 중 어느 하나를 선택하여 출력할 수 있는 광학 멀티플렉서를 제공하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to provide an optical multiplexer capable of selecting and outputting any one of a plurality of lights.
상기 목적은, 본 발명에 따라 외부로부터의 광을 수신하는 복수의 광수신부와; 외부장치로 광을 출력하는 광출력부와; 상기 복수의 광수신부 중 어느 하나로부터 수신된 광의 방향을 변경시켜 상기 광출력부로 유도하는 광유도부를 포함하는 광학 멀티플렉서에 의해 달성된다.The object is a plurality of light receiving unit for receiving light from the outside according to the present invention; An optical output unit configured to output light to an external device; It is achieved by an optical multiplexer including a light guide portion for changing the direction of the light received from any one of the plurality of light receiving portion to guide the light output portion.
상기 광유도부는, 상기 광수신부로부터 수신된 광을 상기 광출력부로 반사시키는 반사미러와; 상기 반사미러를 회전시키는 모터와; 상기 반사미러와 상기 복수의 광수신부 중 어느 하나와의 상대적 위치를 조절하도록 상기 모터를 제어하는 제어부를 포함할 수 있다.The light guide unit includes a reflection mirror for reflecting light received from the light receiver to the light output unit; A motor for rotating the reflection mirror; It may include a control unit for controlling the motor to adjust the relative position of the reflection mirror and any one of the plurality of light receiving unit.
상기 반사미러는 수신된 광의 진로방향을 80˚ ~ 100˚ 정도 변경하는 것이 바람직하다.The reflection mirror preferably changes the direction of the received light by about 80 ° to about 100 °.
반사미러의 회전이 용이하도록 상기 광수신부는 상기 반사미러의 회전축에 대해 등각도로 배열되어 있는 것이 바람직하고, 집광된 광효율을 높이기 위하여 상 기 광수신부는 상기 광출력부를 중심으로 동일한 원주상에 배열되어 있는 것이 바람직하다.Preferably, the light receiving unit is arranged at an isometric angle with respect to the rotation axis of the reflecting mirror to facilitate rotation of the reflecting mirror, and the light receiving unit is arranged on the same circumference around the light output unit in order to increase the light efficiency. It is desirable to have.
상기 반사미러에서 반사된 광을 상기 광출력부로 집광하는 집광렌즈를 더 포함할 수 있다.The apparatus may further include a condenser lens for condensing the light reflected by the reflective mirror to the light output unit.
다른 광에 대한 영향을 최소화하기 위하여, 적어도 상기 반사미러를 수용하며, 내벽이 검은 색인 하우징을 더 포함하는 것이 바람직하다.In order to minimize the influence on other light, it is preferred that at least the reflecting mirror is accommodated and the inner wall further comprises a black index housing.
이하에서는 첨부도면을 참조하여 본 발명에 대하여 설명한다. Hereinafter, the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
본 발명의 일 실시예에 따른 광학 멀티플렉서는 도 2 내지 도 4를 참조하여 설명된다. 도 2는 일 실시예에 따른 광학 멀티플렉서의 분해사시도이고, 도 3은 광학 멀티플렉서의 제어블럭도이며, 도 4는 광학 멀티플렉서의 일부 단면도를 나타낸다.An optical multiplexer according to an embodiment of the present invention is described with reference to FIGS. 2 is an exploded perspective view of an optical multiplexer according to an embodiment, FIG. 3 is a control block diagram of the optical multiplexer, and FIG. 4 is a partial cross-sectional view of the optical multiplexer.
도시된 바와 같이, 광학 멀티플렉서(100)는 복수의 광수신부(111, 113, 115; 110), 광출력부(120), 광수신부(110)로부터 수신된 광을 광출력부(120)로 유도하는 광유도부(160), 집광렌즈(170)를 포함한다. 또한, 광학 멀티플렉서(100)는 광유도부(160)와 집광렌즈(180)를 수용하는 하우징(180)을 더 포함하며, 광유도부(160)는 반사미러(130), 모터(140), 제어부(150)로 구성된다.As shown, the
광학 멀티플렉서(100)는 다양한 형상을 가질 수 있지만, 본 실시예에 따른 광학 멀티플렉서(100)는 원기둥의 하우징(180)을 포함하여 전체적으로 원기둥 형상을 갖는다. 광학 멀티플렉서(100)의 구성요소들 중 일부는 원기둥 형상의 하우징(180)에 수용되어 있으며, 나머지 일부는 하우징(190)의 옆면 또는 윗면에 돌출되어 있다. Although the
하우징(180)의 내부는 흑갈색 또는 검은 색으로 마련되며 검은 안료 등이 도포되어 있다. 이는 하우징(180) 내부에 암실과 같은 환경을 조성하여 외부로부터 광을 차단하고, 광이 입력되었다 하여도 이를 흡수하여 광이 광유도부(160)에 영향을 주지 않도록 하기 위함이다. 별도의 차광설비를 하우징(180) 내부에 갖추는 것도 가능하다.The inside of the
광수신부(110)는 외부 광원으로부터 광을 수신하며, 외부 광원과 광섬유 등으로 연결되어 있다. 세 개의 광수신부(111, 113, 115)는 하우징(180)의 옆면에 등 간격으로 배열되어 있으며, 하우징(180)의 윗면의 중심에 마련되어 있는 광출력부(120)에 대하여 동일한 거리에 배열되어 있는 것이 바람직하다. The
광수신부(110)의 개수는 세 개에 한정되지 않으며, 광원의 개수에 따라 가변적이다. 또한, 광수신부(110)를 별도로 제작하여 하우징(180)에 탈부착 가능하도록 설계하는 것도 가능하다. The number of the
광유도부(160)는 광수신부(110)로부터 수신된 광의 진로방향을 변경시키는 반사미러(130), 반사미러(130)와 연결되어 반사미러(130)를 회전시키는 모터(140) 및 반사미러(130)의 회전을 위하여 모터(140)를 구동시키고 제어하는 제어부(150)를 포함한다. The light guide unit 160 is connected to the
도 3에 도시된 바와 같이 반사미러(130)는 광수신부(110)로부터 수신된 광을 광출력부(120)로 유도하기 위하여 광의 진로방향을 약 80˚ ~ 100˚ ,바람직하게는 90˚ 정도 변경시킨다. 반사미러(130)는 원기둥 형상을 갖는 하우징(180) 내부에 수용되어 원운동을 하며 복수의 광수신부(110) 중 어느 하나로부터 수신되는 광만을 광출력부(120)로 유도한다. 이는 광의 직진성 및 반사의 법칙을 이용한 것으로 반사미러(130)에 입사된 광은 반사미러(130)에 수직인 법선에 대하여 입사각과 동일한 반사각을 가지고 반사된다. 따라서, 광수신부(110)와 광출력부(120) 및 반사미러(130)의 상대적인 위치는 광의 전달에 중요하다. 본 실시예에서는 광수신부(110)는 하우징(180)의 윗면에, 광출력부(120)는 하우징(180)의 옆면에 마련되며, 광수신부(110)로부터 입력된 광은 반사미러(130)에 약 45˚로 입사되어 반사된다. As shown in FIG. 3, the
반사미러(130)는 회전운동에 의하여 오직 하나의 광만을 광출력부(120)로 출력하며, 복수의 광수신부(110)로 광이 입력되고 있더라도 광출력부(120)를 통해 외부로 전달되어야 하는 하나의 광을 제외한 다른 광은 반사시키지 않는다. 반사미러(130)의 이러한 회전이 가능하려면 광수신부(111, 113, 115)는 각각 소정의 간격을 두고 배치되는 것이 바람직하며, 반사미러(130)의 회전 운동을 용이하게 제어할 수 있도록 등간격으로 배열되는 것이 바람직하다. 다시 말해, 도 4에 도시된 바와 같이 복수의 광수신부(111, 113, 115)는 반사미러(130)의 회전축, 즉 하우징(180) 윗면의 중심을 관통하는 축에 대하여 등각도(α)로 배열되어 있다. 이처럼 광수신부(111, 113, 115)가 등각도(α)로 배열되어 있으면, 반사미러(130)는 기설정된 시간간격마다 동일한 각도씩 회전하면서 광을 반사시킬 수 있다. 광수신부(111, 113, 115)의 간격이 일정하지 않다면, 반사미러(130)의 회전 속도가 일정하지 않게 되어 이를 구동시키는 모터(140)의 제어가 용이하지 않게 된다.The reflection mirror 130 outputs only one light to the
또한, 집광렌즈(170)에서 반사된 광의 집광이 용이하도록 광수신부(110)는 반사미러(130)의 회전축을 중심으로 동일한 원주상에 배열되어 있다. 만약, 광수신부(111, 113, 115)가 반사미러(130)의 회전축에 대하여 등각도(α)로 배열되어 있더라도 동일한 원주상에 배열되어 있지 않다면, 광이 광출력부(120) 방향으로 반사되는 위치가 서로 상이하여 집광하는 데 어려움이 있고, 집광렌즈(170)가 커져야 하는 문제점이 있다. 결론적으로 광수신부(111, 113, 115)는 반사미러(130)의 회전축에 대하여 등각도(α)로 이격되어 배열되어 있으며, 회전축을 중심으로 동일한 원주상에 배치되어 있는 것이 바람직하다. 본 실시예에서는 반사미러(130)의 회전축은 하우징(180)에서 돌출되어 있는 광출력부(120)의 위치와 동일하다.In addition, the
모터(140)는 반사미러(130)와 연결되어 반사미러(130)를 소정의 등각속도로 회전시킨다. 광학 멀티플렉서(100)가 광을 수신하는 속도는 모터(140)의 움직임에 의해 결정되므로 사용자는 제어부(150)를 제어하여 모터(140)의 회전 속도를 조절할 수 있다. The
제어부(150)는 모터(140)를 구동시켜 반사미러(130)와 광수신부(111, 113, 115) 중의 어느 하나와의 상대적인 위치를 조절한다. 제어부(150)는 광학 멀티플렉서(100)로부터 광을 수신받는 외부장치의 제어를 받는 것이 가능하며, 광수신부(110)의 개수 및 광 수신속도 등에 대한 제어신호에 따라 모터(140)의 회전속도를 제어한다.The
집광렌즈(170)는 반사미러(130)로부터 반사된 광을 집광하여 광출력부(120)로 전달하며, 보다 높은 광효율을 위하여 마련된다. 집광렌즈(170)는 반사미러(130)와 광출력부(120) 사이에 배치되며, 만약 반사미러(130)와 광출력부(120)의 간격이 아주 작다면 생략될 수도 있는 선택적인 구성요소이다. 반면, 보다 높은 광효율을 위하여 복수개의 집광렌즈(170)가 사용될 수도 있다. 전술한 바와 같이 집광렌즈(170)의 크기를 감소시키고, 집광 효율을 높이기 위하여 복수의 광수신부(110)는 반사미러(130)의 회전축인 광출력부(120) 대하여 동일한 원주상에 배열되어 있는 것이 바람직하다.The
광유도부(160) 중 반사미러(130)와 집광렌즈(170)는 빛과 직접적이 접촉이 있는 부분으로 이들은 반드시 하우징(180) 내부에 수용되어 다른 광의 영향을 받지 않도록 해야 한다.The
마지막으로 광의 경로변경에 대하여 정리해보면, 각 광수신부(111, 113, 115)로 복수의 광이 입력된다. 복수의 광이 입력된다 하여도, 반사미러(130)가 수신하여 반사하는 광은 그 중 어느 하나이다. 반사미러(130)에 의해 약 90˚ 정도 진로가 변경된 광은 광출력부(120) 직전에 마련되어 있는 집광렌즈(170)에 의해 집광된다. 집광된 광이 광출력부(120)를 통해 외부로 출력되고 나면, 제어부(150)는 모터(140)를 구동시켜 모터(140)에 연결되어 있는 반사미러(130)를 회전시킨다. 반사미러(130)는 인접하게 배열되어 있는 다른 광수신부(110)로 이동하며 상술한 과정이 반복된다. 광수신부(110)로부터 입력된 모든 광이 순차적으로 광출력부(120)를 통해 출력되는 시간은 수십 msec 범위 정도이다.Finally, the light path change is summarized. A plurality of lights are input to each of the
비록 본 발명의 몇몇 실시예들이 도시되고 설명되었지만, 본 발명의 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 당업자라면 본 발명의 원칙이나 정신에서 벗어나지 않으면서 복수의 광을 선택적으로 출력할 수 있는 본 실시예를 변형할 수 있음을 알 수 있을 것이다. 발명의 범위는 첨부된 청구항과 그 균등물에 의해 정해질 것이다.Although some embodiments of the invention have been shown and described, those of ordinary skill in the art can selectively output a plurality of lights without departing from the spirit or spirit of the invention. It will be appreciated that can be modified. It is intended that the scope of the invention be defined by the claims appended hereto and their equivalents.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 복수의 광 중 어느 하나를 선택하여 출력할 수 있는 광학 멀티플렉서가 제공된다. As described above, according to the present invention, an optical multiplexer capable of selecting and outputting any one of a plurality of lights is provided.
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